半導体

三フッ化窒素（NF₃）は、窒素原子1つとフッ素原子3つからなる無機化合物です。常温常圧では無色無臭の気体で、水に溶けにくいという性質を持っています。 半導体や液晶パネルの製造工程でエッチングガスや洗浄ガスとして広く利用されてきました。しかし、近年この三フッ化窒素が、地球温暖化に影響を与える可能性が指摘され始めています。